O₃HIS系列是高度集成化的臭氧系统单元，可以独立运行，也可以多台灵活组合，最多可以实现四台单元组成的大型臭氧系统。系统具有一个中央控制单元，中央控制单元可以单独控制每个系统的启停以及每个单元臭氧浓度和产量。O₃HIS是一套掺杂极少量氮气的臭氧发生器系统，能够产生高纯的臭氧气体，提高薄膜密度和产品的良率。

★ O₃HIS产品特性

◎ 高度集成化的臭氧系统

◎ 在5℃下，臭氧浓度高达350 g/Nm³或22.7 wt%

◎ 氧气流量范围0.5-20 slm

◎ 放电室由多个放电单元集成，最多可集成8组

◎ 8种可选配置，选型灵活

◎ 多种通讯接口(RS232，RS485，以太网)

◎ 放电室由两组7个放电单元的模块组成，总共14组放电单元

◎ 产出高浓度高纯的臭氧气体

◎ 永久密封的臭氧发生器腔室，无需使用密封圈进行密封，避免因密封圈材料导致的气体污染，真正实现高纯臭氧

◎ 运行过程中只需参杂极少量的氮气，减少氮氧化物的产出

◎ 系统内部集成了质量流量计，压力控制器，臭氧浓度仪，实现整个系统的多种闭环控制