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HCV4014系列是高浓度大流量的臭氧发生器，通过高压放电将纯氧转化为臭氧，实现高纯高浓度臭氧的产出。只需要掺杂极少量的氮气，因此污染物极少，例如氮氧化物化合物的存在极低，远低于竞品臭氧发生器所需的水平。单套HCV4014也可以进行多台组合，实现更大臭氧产量的要求，组合式的HCV4014可以组合成一个完全集成的、高输出的臭氧气体输送系统可提供高流量、高浓度、超清洁的臭氧产生和输送。该组合具有高的灵活性，以满足半导体行业不断变化的需求。该系统可以配置为多通道系统，最多4个通道。系统包括独立运行所需的所有子组件，包括配电装置、控制系统、臭氧浓度检测仪和状态指示。根据系统的配置，可以达到高达200slm和浓度高达350g/Nm3的流量。
★ HCV4014产品特性
◎ 产出高纯度高浓度臭氧气体
◎ 单机大气量臭氧需求
◎ 可最多4台单机臭氧发生器进行大系统的工艺需求
◎ 在5℃下，臭氧浓度高达350 g/Nm3或22.7 wt%
◎ 氧气流量范围5-40 slm
◎ 系统内具有水温度及压力的检测以及保护
◎ 放电室由两组7个放电单元的模块组成，总共14组放电单元
◎ 永久密封的臭氧发生器腔室，无需使用密封圈进行密封，避免因密封圈材料导致的气体污染，真正实现高纯臭氧
◎ 运行过程中只需参杂极少量的氮气，减少氮氧化物的产出
◎ 多种通讯接口(RS232，RS485，以太网)
◎ 清洁，安全的替代品，以替代传统的化学处理
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